盛思锐气体传感器SGP30的传感(MEMS)部分基于金属氧化物(MOx)纳米颗粒的加热膜。
气敏材料——金属氧化物颗粒上吸附的氧气与目标气体发生反应,从而释放出电子。这导致由传感器测量的金属氧化物层的电阻发生改变。
简而言之,还原性气体的出现造成气敏材料表面氧浓度降低,改变了半导体的电阻(或电导率)。后续通过电路(ASIC)部分对电阻进行检测、信号处理与转换等。
The End
盛思锐气体传感器SGP30的传感(MEMS)部分基于金属氧化物(MOx)纳米颗粒的加热膜。
气敏材料——金属氧化物颗粒上吸附的氧气与目标气体发生反应,从而释放出电子。这导致由传感器测量的金属氧化物层的电阻发生改变。
简而言之,还原性气体的出现造成气敏材料表面氧浓度降低,改变了半导体的电阻(或电导率)。后续通过电路(ASIC)部分对电阻进行检测、信号处理与转换等。