光学轮廓测量仪采用白光轴向色差原理（性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪）对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量，测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌，台阶高度，给MEMS、半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料，光学元件、陶瓷和先进材料的研发和生产提供了一个精确的、价格合理的计量方案。
测量范围广，可测透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…)。
测量参数：
1.垂直测量范围：27mm
2.垂直分辨率：<2nm
3.扫描速度：1m/s
4.横向分辨率：5nm
5.可视区域：400*600mm
光学轮廓测量仪可测量各种精密机械零件的素线轮廓形状参数， 角度处理（坐标角度，与 Y 坐标的夹角，两直线夹角）、圆处理（圆 弧半径，圆心到圆心距离，圆心到直线的距离，交点到圆心的距离， 直线到切点的距离）、点线处理（两直线交点，交点到直线距离，交点与交点距离，交点到圆心的距离）、直线度、凸度、对数曲线、槽深、槽宽、沟曲率半径、沟边距、沟心距、轮廓度、水平距离等形状参数。
SuperView W1光学3D表面轮廓仪可以用于测量硅晶片、单刻线台阶、镀膜表面的划痕、MEMS、球面镜、光学玻璃、精密陶瓷部件、蓝宝石屏、发动机叶片、纳米材料等各种超精密加工的表面2D、3D粗糙度、轮廓参数，其应用功能非常广泛，特别适用于对精度要求非常高的超精密加工行业。
The End