要用什么仪器才能精确到1微米?

admin 泰里仪器网 2024-09-25 19:04 0 阅读

一、要用什么仪器才能精确到1微米?

千分尺(分厘卡),可测量1/1000毫米,即1微米. 不过需要注意的是:这种材料(或工件)表面光洁度要很好(比如经过抛光)才能精确测量到微米这样的程度,否则也只能作为参考值对待.

二、温度测量最精确仪器?

温度测量最精确的仪器是铂电阻温度计(Platinum Resistance Thermometer,PRT)。它是一种传感器,使用铂电阻材料来测量温度。铂电阻材料的电阻随着温度的变化而变化。通常,该电阻是在附近的电路中测量的,并转换为相应的温度读数。

PRT具有高精度和稳定性,通常能够提供高达0.001摄氏度的精度。同时,铂电阻材料具有很高的线性度,使其能够在大范围内保持相对较精确的温度读数。此外,PRT也适用于广泛的温度范围内(例如从-200摄氏度至+850摄氏度),使其成为最常用的常规温度测量仪器之一。

三、精确到微米用什么测?

作为一个整天测量几个纳米或几个埃薄膜的工程师,觉得微米这个级别太大了。 光学椭偏仪,是我见过量测薄膜尺寸最薄也是最精准的仪器了。在半导体制造领域,为了监测硅片表面薄膜生长/蚀刻的工艺,需要对其尺寸进行量测。一般量测的对象分为两种:3D结构与1D结构。 3D结构是最接近于真实Device的结构,其量测出来的结果与电性关联度最大。3D结构量测的精度一般是纳米级别的。 1D结构就是几层,几十层甚至上百层薄膜的堆叠,主要是用来给研发前期调整工艺稳定性保驾护航的,其测量精度一般是埃数量级的。就逻辑芯片来说,最重要的量测对象是HKMG这些站点各层薄膜的量测。因为这些站点每层薄膜的厚度往往只有几个到十几个埃,而process window更极限,往往只有1-1.5个埃,也就是说对工艺要求极高。而这些金属层又跟电性关联度很大,所以每一家fab都对这些站点的量测非常重视。本人所在公司使用的1D量测机台在半导体制造的市场上占有绝对垄断地位,测这么薄的薄膜大概分辨率在0.1-0.2个埃。有人可能会有疑问,0.1-0.2个埃,连一层原子都不到啊,这个是什么鬼?这是指比如50微米大小的光斑下量测的平均值。在这个光斑下,有的区域有3层原子,有的地方有4层原子,平均下来,那当然就不是整数个原子的厚度了。 说到量测精度,有人可能还有疑问,如何验证这些精度呢?在fab里,一般会撒一组DOE wafer: Baseline wafer,以及Baseline +/-几埃的wafer,然后每片wafer上切中心与边缘的两个点。zai采用TEM或XPS结果作为参考值,与椭偏仪量测结果拉线性,比如R-Square达到0.9以上就算合格。经本人观察,XPS的量测是最不准的,上面的薄膜很容易受到下面相似材料薄膜的干扰(业内称之为correlation),使量测结果乱飘。TEM是最常规的手段,但其精度也有限(我会说拉TEM的软件分辨率可能就有0.5埃么)。一般采用用软件拉TEM图多次取平均的手法,这样下来精度至少在0.2-0.5埃以上,其实也不是很准。本人认为其实最能精确验证椭偏仪精度的是沉积那些薄膜的机台,比如应用材料等公司的机台,通过调节cycle数可以沉积出不同厚度的薄膜,其名义值往往与椭偏仪的量测值有极其高的线性(比如R-Square在0.95以上)。但为啥不用这些机台的名义值作为参考值啊?因为这些机台本身也是以光学椭偏仪量测出来的值来调整自身工艺的,当然需要一个第三方公证,也就是TEM或XPS。 光学椭偏仪的原理上世纪七十年代就有了,已经非常成熟。光学椭偏仪的量测并不是像TEM一样直接观察,而是通过收集光信号再通过物理建模(调节材料本身的光学色散参数与薄膜3D结构参数)来反向拟合出来的。真正决定量测精度的是硬件水平,软件算法,以及物理建模调参时的经验。硬件水平决定信号的强弱,也就是信噪比。软件算法决定在物理建模调参时的速度。因为物理建模调参是一个最花费时间的过程: 需要人为判断计算是过拟合还是欠拟合,需要人为判断算出来的3D结构是否符合制程工艺,需要人为判断材料的光学色散参数是否符合物理逻辑。

四、cad精确到0.1怎么设置?

你可以在里面单位选项设置精度0.1,就完成你这个

五、有什么仪器可以精确测量玻璃厚度的?

真尚有科技的OTS50激光玻璃传感器采用镜面反射原理,有效的检测玻璃的厚度。

激光位移传感器拥有一个性能良好的测量精度,精度为±0.05%,分辨率为0.01mm,重复性为0.01mm,采样频率为350Hz。激光位移传感器极大的方便了用户对玻璃厚度的检测。玻璃厚度传感器应用领域: 主要应用于透明玻璃厚度的检测。玻璃厚度传感器主要特点: 非接触式测量; 线性度±0.05%(满量程); 重复性0.01mm; 分辨率0.01mm; 可以精确测量透明物体的厚度。

六、精确测量电阻电感电容的仪器,谢谢?

精确测量电阻电感电容的仪器——电桥。

电桥是利用比较法原理测量各种电参数的仪器。

七、全站仪测量高程能精确到0.1毫米吗?

全站仪测量高程是间接高程,也叫三角高程,它的高程获取原理为H(待测点高程)=H(测站点高程)+V(测站点到待测点高差)

V(测站点到待测点高差)=V1(测站点到待测点视线高差)+i(测站仪器高度)-v(待测点杆高)

而仪器高度和杆高都是使用手钢尺测量的,精度到毫米,所以,仪器测量再精准,它的测量精度也只能达到毫米,是不能达到0.1毫米的,再加上全站仪测量高程需要正倒镜取中数来提高测量高程的精度,所以,全站仪测量高程要达到0.1毫米是不现实的,也无法做到的。

八、0.1微米过滤的干净还是5微米过滤的干净?

肯定是过滤的水,因为细菌分子好像没有0.01um,可以过滤

九、怎样调节电子称精确到0.1?

更改电子秤的分度值,将分度值设定为1克即可如果电子秤的单位只有公斤,那么就要设成0.001公斤……如果电子秤的单位有克,那就设成1克需要说明的是,只有电子秤的精度达到相应的标准,才能设定成如此精细的分度值

十、循环小数1.6精确到0.1是多少?

不管是什么数, 在计算机中最终都会被转化为 0 和 1 进行存储, 所以需要弄明白以下几点问题

一个小数如何转化为二进制

浮点数的二进制如何存储

浮点数的二进制表示

首先我们要了解浮点数二进制表示, 有以下两个原则:

整数部分对 2 取余然后逆序排列

小数部分乘 2 取整数部分, 然后顺序排列

0.1 的表示是什么?

我们继续按照浮点数的二进制表示来计算0.1 * 2 = 0.2 整数部分取 00.2 * 2 = 0.4 整数部分取 00.4 * 2 = 0.8 整数部分取 00.8 * 2 = 1.6 整数部分取 10.6 * 2 = 1.2 整数部分取 10.2 * 2 = 0.4 整数部分取 0…

所以你会发现, 0.1 的二进制表示是 0.00011001100110011001100110011……00110011 作为二进制小数的循环节不断的进行循环.

这就引出了一个问题, 你永远不能存下 0.1 的二进制, 即使你把全世界的硬盘都放在一起, 也存不下 0.1 的二进制小数.

浮点数的二进制存储

Python 和 C 一样, 采用

IEEE 754

规范来存储浮点数.

IEEE 754

对双精度浮点数的存储规范将 64 bit 分为 3 部分.

第 1 bit 位用来存储 符号, 决定这个数是正数还是负数

然后使用 11 bit 来存储指数部分

剩下的 52 bit 用来存储尾数Double-precision_floating-point_format

而且可以指出的是, double 能存储的数的个数是有限的, double 能代表的数必然不超过 2^64 个, 那么现实世界上有多少个小数呢? 无限个. 计算机能做的只能是一个接近这个小数的值, 是这个值在一定精度下与逻辑认为的值相等. 换句话说, 每个小数的存储(但是不是所有的), 都会伴有精度的丢失.

浮点数计算的问题

现在我们可以回顾你提出的问题

0.1 + 0.2 == 0.3

0.1 在计算机存储中真正的数字是 0.10000000000000000555111512312578270211815834045410156250.2 是

0.2000000000000000111022302462515654042363166809082031250.3 是

0.299999999999999988897769753748434595763683319091796875

这就是为什么 0.1 + 0.2 != 0.3 的原因

至于 1.1 + 2.2 与之类似。

The End
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